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    產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC6000電子級單晶爐

    主要性能指標


    爐室資料 Puller Data
    坩堝直徑 Crucible  diameter:14〞- 18〞
    單晶直徑 Crystal diameter:4〞- 8〞
    裝料量 Charge size:60 kg
    喉管直徑 Throat Diameter:10 ”(254 mm)
    主爐膛內徑 Main furnace Diameter:¢1120 mm
    主爐膛高度 Main furnace Height:1480 mm
    爐門開口尺寸 Pull Chamber Door Opening: 11”×68”(280 mm×1727 mm)
    主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main:221 cfm (6,260 1/min)
    輔助真空泵抽速(Recommended) Aux:60 cfm (1,700 1/min)
    排氣方式Exhaust:底排氣Exhaust end
    副室類型Deputy room type:全開門Full-door
    爐蓋類型Lid Type:穹頂Dome
    磁場類型Field type:勾型、水平型(可選)hook type, horizontal type (optional)
    有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
    There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
    可提供二次加料providing secondary feed


    坩堝驅動單位 Crucible drive unit
    提升速度 Lifting speed:0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
    最快提升速度 Crucible Jog Speed:2.0 in/min (50.8 mm/min)
    行程Stroke:11.5〞(292 mm)
    轉速Rotation speed:0-20 rpm


    籽晶驅動單位 Crystal drive unit
    提升速度 Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
    快速提升速度 Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
    轉速 Rotation speed:0-50 rpm


    廠務要求 Utilities
    電源電壓(Source Voltage):380 V±10%
    頻率(Frequency):50/60 Hz
    加熱功率(Heating Power):260 KW底部加熱5 0KW
    環境溫度(Ambient Temperature):5~40
    相對濕度(Relative Humidity):<70%
    入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature):77°F (25℃)      
    最小流量(Minimum Flow Rate):78 gpm (295 1/min) total
    入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1 kg/cm2)  
    主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.)):200 slpm
    吹掃流量 (Purge Flow):100 slpm
    合計(Facility Total):300 slpm
    推薦壓力 Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/cm2)
    壓縮空氣(Air)
    推薦壓力 Recommended Supply Pressure:90 psi (6.3 kg/cm2)


    控制系統 System Control
    自動過程 Automatic process
    標準PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard


    外形尺寸 Dimensions(approx.)
    總高度 (closed):5,109mm
    寬 Width (W):1,702mm
    深 Depth (D):1,302mm


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