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    產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC260-MCZ電子級單晶爐

    主要性能指標


    爐室資料Puller Data
    坩堝直徑Crucible  diameter:22〞- 28〞
    單晶直徑Crystal diameter:8〞- 16〞(200-400mm)
    裝料量Charge size:120-280kg
    喉管直徑Throat Diameter:16 ”(410mm)
    主爐膛內徑Main furnace Diameter:¢1200mm
    主爐膛高度Main furnace Height:1500mm
    爐門開口尺寸Pull Chamber Door Opening:17〞×93〞(450mm×2373mm)
    主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main:221 cfm (6,260 l/min)
    輔助真空泵抽速(Recommended) Aux:60 cfm (1,700 l/min)
    排氣方式Exhaust:底排氣 Exhaust end
    副室類型Deputy room type:全開門 Full-door
    爐蓋類型Lid Type:斜頂 Inclined top 
    磁場類型Field type:勾型、水平型(可選)hook type, horizontal type (optional)
    有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
    There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
    可提供二次加料providing secondary feed


    坩堝驅動單位Crucible drive unit
    提升速度Lifting speed:0-4.7 in/hr (0-120 mm/hr)
    最快提升速度Crucible Jog Speed:(>120 mm/min)
    行程Stroke:18〞(457 mm)
    轉速Rotation speed:0-20 rpm(可逆)


    晶驅動單位 Crystal drive unit
    提升速度Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
    快速提升速度Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
    轉速Rotation speed:0-30 rpm(可逆)


    廠務要求Utilities
    電源電壓(Source Voltage):380V±10%
    頻率(Frequency):50/60 Hz
    加熱功率(Heating Power):IGBT 200KW底部加熱50KW
    環境溫度(Ambient Temperature):5~40
    相對濕度(Relative Humidity):<70%
    入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature): 77°F (25℃)      
    最小流量(Minimum Flow Rate):95 gpm (360 l/min) total
    入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1kg/cm2)  
    主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.):200 slpm
    吹掃流量(Purge Flow):100 slpm
    合計(Facility Total):300 slpm
    推薦壓力Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/ cm2)
    壓縮空氣(Air)
    推薦壓力Recommended Supply Pressure:90 psi (6.3 kg/ cm2)


    控制系統System Control
    自動過程Automatic process
    標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard


    外形尺寸Dimensions(approx.)
    總高度 (closed):7022 mm
    寬 Width (W):2270 mm
    深 Depth (D):3090 mm


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