• <table id="000us"><option id="000us"></option></table><td id="000us"><kbd id="000us"></kbd></td>
    <li id="000us"><option id="000us"></option></li>
    <option id="000us"><source id="000us"></source></option>
  • <option id="000us"><noscript id="000us"></noscript></option>
  • 浙江晶泰半導體有限公司 致力于半導體設備領域里開創新局面!

    加入收藏 | 設為首頁 | 站點地圖

    服務熱線:0577-62723111

    產品說明 / Product Description位置: 首頁 > 產品說明 > 單晶硅長晶爐控制特色

    單晶硅長晶爐控制特色

    發布者:晶泰電器發布日期:2017-06-27點擊量:1943

    本控制系統以國際先進單晶爐控制核心技術為基礎,融入單晶爐使用廠家多年的使用經驗,設計、開發出的一套全新的更可靠、更安全實用的單晶生長爐。

    1、采用高分辨率雙CCD直徑控制系統(200萬像素以上),使單晶直徑控制精度達到0.1mm以內;
    2、高精度、高穩定的爐壓控制系統,采用三只不同量程的壓力真空計,配合高精度調節閥,使壓力控制精度更高更準更穩定;
    3、一鍵式全自動控制,無需很專業經驗的拉晶人員即可快速完成操作,從“抽真空、檢漏、壓力化、化料、穩定、穩定/籽晶浸入、引晶、放肩、轉肩、等徑、收尾、停爐冷卻”整個拉晶過程實現全自動一鍵式控制;
    4、工藝參數編輯、修改提供兩種模式,使用者可自行選擇:
     1) 可由個人PC上進行編輯、修改后直接下傳到工業 PLC;
     2) 可在工業PLC上直接進行編輯、修改并保存,并可上傳到個人PC進行備份; 方便客戶更直觀的進行工藝參數管理。
    5、獨特的設備維護界面,數字、模擬量I/O一目了然,并進行實時監控,在設備出故障時,可通過維護I/O監控界面快速的判斷故障所在位置,提高維護效率;
    6、增加“隔離、清洗”自動程序,在拉晶過程中發生斷苞吊出或再加料過程中完成自動操作,使操作更安全、方便;
    7、采用高精度編碼器替代通用的電位器位置控制,使籽晶行程、坩堝行程位置控制精度更高、更安全;
    8、具有晶體長度及重量雙重控制,使拉晶過程更安全、可靠;
    9、可根據客戶要求全面兼容抽真空三閥、二閥控制系統;
    10、過程曲線可根據拉晶不同狀態上客戶自行選擇,可實時同時監控5條曲線;
    11、拉晶過程中各數據及其變化的歷史均以電子文檔的形式記錄在案,方便客戶進行分析及工藝修改,實現生產檔案管理;
    12、采用高精度紅外高溫計,控制精度達到0.1SP
    13、水流量檢測報警系統,為單晶爐的安全運行提供了保障;
    14、氬氣自動控制系統,可根據工藝來設定氬氣流量,若爐子壓力出現異常時自動切斷氬氣注入,防止爐子正壓而造成的安全隱患;
    15、CE控制柜,在外部供電停止時,除加熱器電源外,UPS整機供電系統,保證了自動程序不會由于電力中斷而停止運行,不會因短暫的停電而使單晶爐自動過程復位帶來的損失;同時也給停電后采取的應急措施提供了寶貴的時間。
    16、數據采集采用以太網傳輸,免費為客戶提供以太網接口,方便客戶進行網絡監控及工藝傳輸。

    上一條:沒有了

    上一條:單晶硅長晶爐系統安全措施

    亚洲欧美综合久久久久久,久久福利视频导航,99综合精品,日b的视频
  • <table id="000us"><option id="000us"></option></table><td id="000us"><kbd id="000us"></kbd></td>
    <li id="000us"><option id="000us"></option></li>
    <option id="000us"><source id="000us"></source></option>
  • <option id="000us"><noscript id="000us"></noscript></option>